设备与资源

上海外国语大学MEMS实验室占地面积1300平方米。致力于MEMS和微流体的研究和教育。由于安捷伦科技公司、集成设备技术公司（IDT）、英特尔公司和赛灵思公司等公司的慷慨捐赠，关键设备得以获得。

合作伙伴的设施

对于大多数微制造需求，实验室成员使用九州体育微电子工艺工程实验室，该实验室具有晶圆加工能力，包括光刻，热氧化，掺杂剂扩散，等离子体蚀刻，湿化学蚀刻，溅射，蒸发和晶圆键合。对于高级表征需求，实验室成员受益于跨九州体育材料表征和计量中心的共享能力。

专用工具

• Agilent 5500 AFM原子力显微镜
• Veeco Wyko NT9100光学分析器
• Instron ElectroPuls E1000动态机械测试仪
• Cascade L50微流体测试平台
• 奥林巴斯IX51荧光倒置显微镜
• 萨特MP-285电动纳米定位器
• Harrick PDC-001等离子室

软件

MEMS实验室中具有许可支持的工程软件包包括COMSOL Multiphysics、ANSYS、MATLAB、LabVIEW、Minitab和LinkCAD。